理化检验-化学分册

作者：陈天怡, 许竞早, 彭振磊, 张育红

关键词：离子色谱法, 湿电子化学品, 阴离子, 应用进展

湿电子化学品中的阴离子可能引发元件污染,导致短路、沉积、缺陷和腐蚀等问题,因此准确测定阴离子至关重要。离子色谱法因其检测灵敏度高,结果准确等特点,适用于湿电子化学品的产品质量检测。简要介绍了常见湿电子化学品及其应用领域和离子色谱仪的结构,综述了离子色谱法在检测湿电子化学品阴离子时的常用样品预处理（在线预浓缩和在线阀切换）技术,以及多种湿电子化学品（超纯水、无机酸/碱类超净高纯试剂、超净高纯有机试剂和光刻胶）中的应用。此外,还探讨了离子色谱法当前技术难点及未来发展方向（引用文献66篇）。

来源：2024年第11期

《理化检验-化学分册》期刊编辑部

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